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化学液供应系统（CDS（Chemical Dispense System））
适用场景：用于半导体制程上中湿法工艺涉及的高纯化学药液的自动供给
设备特点：
1、可灵活实现化学药液的多点供应
2、可根据客户情况定制不同容积，例如：4L、10L、20L、200L等标准容积
3、可配备纯水冲洗管路，满足客户更换化学品还可使用该设备需求
4、可配置多桶，自动切换，实现不间断供液
5、可配置双泵，一用一备，提高设备可靠性
6、可根据需求设计同时容纳不同种类的化学液
7、设计有快换桶结构，便于人工更换桶
设备特点：
1、可灵活实现化学药液的多点供应
2、可根据客户情况定制不同容积，例如：4L、10L、20L、200L等标准容积
3、可配备纯水冲洗管路，满足客户更换化学品还可使用该设备需求
4、可配置多桶，自动切换，实现不间断供液
5、可配置双泵，一用一备，提高设备可靠性
6、可根据需求设计同时容纳不同种类的化学液
7、设计有快换桶结构，便于人工更换桶
关键词：
化学液供应系统（CDS（Chemical Dispense System））
所属分类：
工艺制程湿法设备
化学液供应系统
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